退火机资讯 | 退火机新闻 | 退火机图片 | 退火机百科 | 退火机博客 | 返回首页
对所述监控片进行颗粒水平的测量，获得颗粒测量后值；
采用快速热退火的方法对所述监控片进行退火；在所述监控片上注入过硼；
在所述激光退火机内采用第二功率值对所述监控片进行激光扫描，所述第二功率值大于所述第一功率值；
对所述监控片进行方块电阻阻值的测量，获得方块电阻阻值的测量值。本发明用于激光退火机的监控方法在完成激光退火机上所需的两种日常监控流程的前提下，有效的节约了监控片，降低制造成本。